(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122684428.0 (22)申请日 2021.11.04 (73)专利权人 镇江哈工大高端 装备研究院 地址 212002 江苏省镇江市高新区南 徐大 道101号 (72)发明人 刘淳　陈亮　王金涛　高晓斌　 余佳欣　 (74)专利代理 机构 北京久诚知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 11542 代理人 金福 (51)Int.Cl. B23K 26/38(2014.01) B23K 26/402(2014.01) B23K 26/70(2014.01) G01B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 用于硅片精密切割检测设备 (57)摘要 本实用新型提供一种用于硅片精密切割检 测设备， 涉及激光加工领域， 本实用新型， 加工台 的上表面设有切割检测箱， 切割检测箱的上表面 固定安装有固定板， 固定板的上表 面一侧固定连 接有固定测量尺， 固定板的上表 面另一侧滑动连 接有活动测量尺， 转动挡板的一侧设有接料盒， 转动挡板的另一侧设有弹性组件， 转动挡板靠近 接料盒的一侧向下倾斜。 本实用新型方便在切割 完成后迅速进行尺寸检测， 同时有效避免碎屑四 处掉落。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216177686 U 2022.04.05 CN 216177686 U 1.一种用于 硅片精密切割检测设备， 其特 征在于， 包括； 加工台(1)， 所述加工台(1)的上表面设有滑动载板(2)， 所述滑动载板(2)的上表面设 有切割检测箱(3)， 所述切割检测箱(3)的上表面固定安装有固定板(4)， 所述固定板(4)的 上表面一侧固定连接有固定测量尺(7)， 所述固定板(4)的上表 面另一侧滑动连接有活动测 量尺(10)； 转动挡板(13)， 所述转动挡板(13)的一侧设有接料盒(14)， 所述转动挡板(13)的另一 侧设有弹性组件(16)， 所述 转动挡板(13)靠 近接料盒(14)的一侧向下倾 斜。 2.如权利要求1所述的一种用于硅片精密切割检测设备， 其特征在于， 所述转动挡板 (13)转动连接在切割检测箱(3)的内部， 所述接料盒(14)活动插接在切割检测箱(3)的侧 面。 3.如权利要求1所述的一种用于硅片精密切割检测设备， 其特征在于， 所述固定板(4) 的中部固定安装有网状滤板(6)， 所述网状滤板(6)的上表 面开设有滑槽(5)， 所述活动测量 尺(10)的下表面固定连接有滑块(12)， 所述滑块(12)滑动连接在滑槽(5)的内部 。 4.如权利要求3所述的一种用于硅片精密切割检测设备， 其特征在于， 所述切割检测 箱 (3)的外表 面设有把手(8)， 所述把手(8)的外表 面固定连接有滑动杆(9)， 所述滑动杆(9)活 动插接在切割检测箱(3)的内部且滑动杆(9)与滑块(12)固定连接 。 5.如权利要求4所述的一种用于硅片精密切割检测设备， 其特征在于， 所述滑动杆(9) 的外表面活动套接有第一弹簧(1 1)， 所述第一弹簧(1 1)活动卡接在切割检测箱(3)的内部 。 6.如权利要求1所述的一种用于硅片精密切割检测设备， 其特征在于， 所述弹性组件 (16)包括连接条(161)、 固定杆(162)、 第 二弹簧(163)和 滑动环(164)， 所述固定杆(162)固 定连接在切割检测箱(3)的内底部， 所述第二 弹簧(163)活动套接在固定杆(162)的外表 面， 所述滑动环(164)活动套接在固定杆(162)的顶端外表面， 所述连接条(161)固定连接在滑 动环(164)的侧面。 7.如权利要求6所述的一种用于硅片精密切割检测设备， 其特征在于， 所述连接条 (161)滑动连接在切割检测箱(3)的外表面， 所述转动挡板(13)的外表面开设有条形槽 (15)， 所述转动挡板(13)通过条形槽(15)活动卡接在固定杆(162)的外表面， 所述滑动环 (164)处于转动挡板(13)的上表面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216177686 U 2用于硅片精密切割检测设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及激光切割技 术领域， 具体涉及一种用于 硅片精密切割检测设备。 背景技术 [0002]在进行硅片加工 的时候， 通常需要对硅片的尺寸进行裁剪， 使其大小能够符合实 际使用需求， 为了保证切割的平整性， 通常采用激光进行切割。 [0003]但是在激光切割时， 虽然切割部位表面非常平整， 但是由于切割是通过人工控制 进行移动的， 因此在切割时， 可能会存在一定的切割偏差， 因此需要对切割好的硅片进行检 测， 测量其是否出现倾斜， 而以往的检测方式， 需要在切割完成后， 将硅片移动至专门的测 量设备上进行测量， 不仅费时费力， 而且在移动时， 硅片表面切割形成的碎渣会四处掉落， 因此需要提供一种用于 硅片精密切割检测设备以解决上述问题。 发明内容 [0004](一)解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种用于硅片精密切割检测设备， 解决 了现有硅片加工后检测 测量的时候费时费力， 且 存在碎屑四处掉 落的问题。 [0006](二)技术方案 [0007]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技 术方案予以实现： [0008]一种用于 硅片精密切割检测设备， 包括； [0009]加工台， 所述加工台的上表面设有滑动载板， 所述滑动载板 的上表面设有切割检 测箱， 所述切割检测箱的上表面固定安装有固定板， 所述固定板的上表面一侧固定连接有 固定测量尺， 所述固定 板的上表面另一侧滑动连接有活动测量尺； [0010]转动挡板， 所述转动挡板 的一侧设有接料盒， 所述转动挡板 的另一侧 设有弹性组 件， 所述转动挡板 靠近接料盒的一侧向下倾 斜 [0011]优选的， 所述转动挡板转动连接在切割检测箱的内部， 所述接料盒活动插接在切 割检测箱的侧面。 [0012]优选的， 所述固定板 的中部固定安装有网状滤板， 所述网状滤板的上表面开设有 滑槽， 所述活动测量尺的下表面固定连接有滑块， 所述滑块滑动连接在滑槽的内部 。 [0013]优选的， 所述切割检测箱的外表面设有把手， 所述把手 的外表面固定连接有滑动 杆， 所述滑动杆活动插接在切割检测箱的内部且滑动杆与滑块固定连接 。 [0014]优选的， 所述滑动杆的外表面活动套接有第一弹簧， 所述第一弹簧活动卡接在切 割检测箱的内部 。 [0015]优选的， 所述弹性组件包括连接条、 固定杆、 第二弹簧和滑动环， 所述固定杆固定 连接在切割检测箱的内底部， 所述第二弹簧活动套接在固定杆的外表面， 所述滑动环活动 套接在固定杆的顶端外表面， 所述连接条固定连接在滑动环的侧面。 [0016]优选的， 所述连接条滑动连接在切割检测箱的外表面， 所述转动挡板 的外表面开说　明　书 1/4 页 3 CN 216177686 U 3