(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123080506.2 (22)申请日 2021.12.09 (73)专利权人 江苏东玖光电科技有限公司 地址 221200 江苏省徐州市睢宁 县双沟镇 空港经济开发区临空大道与安澜大道 交叉口 (72)发明人 孔伟华　 (74)专利代理 机构 南京佰腾智 信知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32509 代理人 黄杭飞 (51)Int.Cl. B24B 19/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/00(2006.01) B24B 47/14(2006.01)B24B 47/12(2006.01) B24B 47/16(2006.01) B24B 55/00(2006.01) B24B 55/06(2006.01) B24B 55/12(2006.01) B01D 46/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种溅射靶材打磨装置 (57)摘要 本实用新型公开了溅射靶材加工设备领域 的一种溅射靶材打磨装置， 包括工作台， 工作台 的上表面固定连接有支撑架， 且支撑架的形状设 置为L型， 支 撑架的上表面 设置有打磨机构， 工作 台的下表面设置有清洁机构， 打磨机构包括气 缸、 固定架、 电机、 打磨刷、 齿条、 双向丝杆、 齿轮、 移动架、 保护垫和移动轮， 支撑架的上表面固定 连接有气缸， 气缸的活动端固定连接有固定架和 电机， 电机位于固定架的下表面， 电机的输出端 固定连接有打磨刷， 固定架的圆周面固定连接有 齿条， 工作台的上表面活动连接有双向丝杆， 本 实用新型， 可以固定夹紧定位槽中的溅射靶材来 防止打磨操作时， 溅射靶材发生位移导致打磨的 光洁度和平面度达不到标准要求。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216298880 U 2022.04.15 CN 216298880 U 1.一种溅射靶材打磨装置， 包括工作台(1)， 其特征在于： 所述工作台(1)的上表面固定 连接有支撑架(2)， 且支撑架(2)的形状设置为L型， 所述支撑架(2)的上表面设置有打磨机 构(3)， 所述工作台(1)的下表面设置有清洁机构(4)。 2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材打磨装置， 其特征在于： 所述打磨机构(3)包括 气缸(31)、 固定架(32)、 电机(33)、 打磨刷(34)、 齿条(35)、 双向丝杆(36)、 齿轮(37)、 移动架 (38)、 保护垫(39)和移动轮(310)， 所述支撑架(2)的上表面固定连接有气缸(31)， 所述气缸 (31)的活动端固定连接有固定架(32)和电机(33)， 所述电机(33)位于固定架(32)的下表 面， 所述电机(33)的输出端固定连接有打磨刷(34)， 所述固定架(32)的圆周面固定连接有 齿条(35)， 所述工作台(1)的上表 面活动连接有双向丝杆(36)， 所述双向丝杆(36)的圆周面 滑动连接有移动架(38)， 且移动架(38)的数量设置有两块， 所述双向丝杆(36)的圆周面固 定连接有齿轮(37)， 所述移动架(38)的侧表面固定连接有保护垫(39)， 所述移动架(38)的 下表面固定连接有移动轮(310)。 3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材打磨装置， 其特征在于： 两块所述移动架(38)均 与双向丝杆(3 6)通过螺纹连接， 两块所述移动架(38)的内螺纹方向相反。 4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材打磨装置， 其特征在于： 所述齿条(35)和齿轮 (37)相互啮合， 两块所述保护垫(39)的形状均设置有凹字形， 且凹部分为 倾斜设置。 5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材打磨装置， 其特征在于： 所述工作台(1)的上表 面开设有定位槽(1 1)， 所述定位槽(1 1)的位置位于打磨刷(34)的正下 方。 6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材打磨装置， 其特征在于： 所述清洁机构(4)包括 清洁箱(41)、 负压风机(42)、 过滤板(43)、 过滤孔(44)、 拉门(45)和观察窗(46)， 所述工作台 (1)的下表面固定连接有清洁箱(41)， 所述清洁箱(41)的内部固定连接有负压风机(42)和 过滤板(43)， 所述过滤板(43)的位置位于负压风机(42)的上方， 所述工作台(1)和定位槽 (11)的内部均开设有过滤孔(44)， 所述清洁箱(41)的前面活动连接有拉 门(45)， 所述拉 门 (45)的表面设置有观察窗(46)。 7.根据权利要求6所述的一种溅射靶材打磨装置， 其特征在于： 所述过滤板(43)的形状 为倾斜设置， 所述过滤孔(44 )的数量设置有多个， 所述负压风机(42)的位置位于定位槽 (11)的正下 方。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216298880 U 2一种溅射靶材打磨装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及溅射靶材加工设备 领域， 具体是一种溅射靶材打磨装置 。 背景技术 [0002]溅射靶材主要应用于电子及信息产业， 如集成电路、 信息存储、 液晶显示屏、 激光 存储器、 电子控制器件等； 亦可应用于玻璃镀膜领域； 还可以应用于耐磨材料、 高温耐蚀、 高 档装饰用品等行业。 [0003]目前的溅射靶材打磨装置在进行打磨操作时， 无法有效地对溅射靶材进行固定夹 紧， 容易导致因工作产生的震动导致溅射靶材 的位置发生偏移， 从而影响了溅射靶材表面 的光洁度和平整度， 以及打磨产生的飞屑， 存在容 易飞散在周围环境和不方便收集的问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种溅射靶材打磨装置， 以解决上述背景技术中提出 的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种溅射靶材打磨装置， 包括工 作台， 所述工作台的上表面固定连接有支撑架， 且支撑架的形状设置为L型， 所述支撑架的 上表面设置有打磨机构， 所述工作台的下表面设置有清洁机构。 [0006]作为本实用新型进一步的方案： 所述打磨机构包括气缸、 固定架、 电机、 打磨刷、 齿 条、 双向丝杆、 齿轮、 移动架、 保护垫和移动轮， 所述支撑架的上表面固定连接有气缸， 所述 气缸的活动端固定连接有固定架和电机， 所述电机位于固定架的下表面， 所述电机的输出 端固定连接有打磨刷， 所述固定架的圆周面固定连接有齿条， 所述工作台的上表面活动连 接有双向丝杆， 所述双向丝杆的圆周面滑动连接有移动架， 且移动架的数量设置有两块， 所 述双向丝杆的圆周面固定连接有齿轮， 所述移动架的侧表面固定连接有保护垫， 所述移动 架的下表面固定连接有移动轮， 将溅射靶材放置在定位槽中， 并打开气缸和电机进 行工作， 气缸工作带动固定架和电机下降， 电机工作带动输出端的打磨刷进行转动来对溅射靶材进 行打磨操作， 固定架随着气缸输出端的下降的同时， 带动圆周面上的齿 条向下进 行运动， 齿 条和齿轮相互啮合， 使得齿轮带动双向丝杆发生转动， 双向丝杆转动带动两块移动架进行 运动， 移动架通过移动轮可以减少运动的摩 擦力并方便进行运动， 待运动的合适的位置后， 通过保护垫进行固定 夹紧定位槽中的溅射靶材。 [0007]作为本实用新型再进一步的方案： 两块所述移动架均与双向丝杆通过螺纹连接， 两块所述移动架的内螺纹方向相反， 方便通过双向丝杆转动从而 带动两块移动架进行位移 固定夹紧溅射靶材来防止发生 位移。 [0008]作为本实用新型再进一步的方案： 所述齿条和齿轮相互啮合， 方便通过齿条随着 气缸的活动端进行位移来带动齿轮发生转动， 两块所述保护垫的形状均设置有凹字形， 且 凹部分为 倾斜设置， 方便进行固定保护溅射靶材的圆周面 来防止压力过大导致损坏。 [0009]作为本实用新型再进一步的方案： 所述工作台的上表面开设有定位槽， 所述定位说　明　书 1/4 页 3 CN 216298880 U 3