(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021234273 02.1 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 南京欧美 达应用材料科技有限公 司 地址 211100 江苏省南京市江宁经济技 术 开发区铺岗街379号 (72)发明人 周其刚　周心立　陈玉芝　陈玲玲　 (74)专利代理 机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 董成 (51)Int.Cl. B23D 79/00(2006.01) B23Q 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种制作蒸发靶材的自动精密切割机 (57)摘要 本实用新型公开了一种制作蒸发靶材的自 动精密切割机， 包括切割机主体， 所述切割机主 体的上端外表 面固定连接有滑轨， 所述滑轨的前 端内表面活动连接有放置板， 所述放置板的前端 内表面设置有第一夹板， 所述第一夹板的外壁弹 性连接有第一压紧弹簧， 所述放置板的上端外表 面安装有转板。 该制作蒸发靶材的自动精密切割 机， 通过放置板、 第一夹板与第二夹板之间的配 合使用， 使得对靶材的外壁进行全 方位的固定限 位， 提高切割机切割的精度以及效果， 通过清洁 毛刷不断的来回清理， 使 得清洁毛刷可以清理残 留在放置板上靶 材碎屑残渣， 让其掉落到碎屑收 集盒中进行集中收集， 定期拆卸碎屑收集盒统一 回收。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217290723 U 2022.08.26 CN 217290723 U 1.一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 包括切割机主体(1)， 其特征在于： 所述切割 机主体(1)的上端外表面固定连接有滑轨(2)， 所述滑轨(2)的前端内表面活动连接有放置 板(3)， 所述放置板(3)的前端内表面设置有第一夹板(4)， 所述第一夹板(4)的外壁弹性连 接有第一压紧弹簧(5)， 所述放置板(3)的上端外表面安装有转板(6)， 所述转板(6)的下端 内表面滑动连接有第二夹板(7)， 所述第二夹板(7)的外壁 弹性连接有第二压紧弹簧(8)， 所 述切割机主体(1)的上端内表面设置有移动座(9)， 所述移动座(9)的下端外表面固定连接 有清洁毛刷(10)。 2.根据权利要求1所述的一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 其特征在于： 所述放置 板(3)的上端内表面安装有靶 材主体(11)， 所述转板(6)的前端内表 面螺纹连接有螺纹把手 (12)， 所述放置板(3)的右侧外表面固定连接有电动推杆(13)， 所述切割机主体(1)的左侧 外表面安装有电机(14)， 所述电机(14)的右侧外表面固定连接有螺纹杆(15)， 所述切割机 主体(1)的上端外表 面安装有切割刀组件(16)， 所述切割机主体(1)的右侧内表面设置有碎 屑收集盒(17)。 3.根据权利要求1所述的一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 其特征在于： 所述放置 板(3)的前端内表面开设有圆槽， 所述圆槽与第一夹板(4)相适配， 所述第一夹板(4)的外壁 通过圆槽与放置 板(3)的前端内表面滑动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 其特征在于： 所述切割 机主体(1)的上端内表 面开设有滑槽， 所述滑槽与 移动座(9)相适配， 所述移动座(9)的下端 外表面通过滑槽与切割机主体(1)的上端内表面滑动连接 。 5.根据权利要求1所述的一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 其特征在于： 所述转板 (6)的上端内表 面开设有卡槽， 所述卡槽与放置板(3)相适配， 所述放置板(3)的外壁通过卡 槽与转板(6)的上端内表面相卡接 。 6.根据权利要求2所述的一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 其特征在于： 所述切割 机主体(1)的右侧内表面开设有安装槽， 所述安装槽与碎屑收集盒(17)相适配， 所述碎屑收 集盒(17)的左侧外表面 通过安装槽与切割机主体(1)的右侧内表面相卡接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217290723 U 2一种制作蒸发靶材的 自动精密切割机 技术领域 [0001]本实用新型涉及靶材加工技术领域， 具体是涉及 一种制作蒸发靶材的自动精密切 割机。 背景技术 [0002]靶材是通过磁控溅射、 多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射 在基板上形成各种功 能薄膜的溅射源， 简单说的话， 靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材 料， 用于高能激光武器中， 不同功率密度、 不同输出波形、 不同波长的激光与不同的靶材相 互作用时， 会产生不同的杀伤破坏效应， 而蒸发靶 材的制作， 就需要使用到自动精密切割机 来进行切割加工， 因此被广泛应用。 [0003]现有的切割机在使用时， 靶材加工的过程中， 需要对靶材进行水平上的固定， 而大 多靶材的形状都是圆柱形， 难以固定使得靶材容易发生偏移， 从而使得切割机的切割效果 以及精度较低， 造成靶材的浪费， 且切割机在进 行切割靶材的过程中， 会产生大量的碎屑残 渣， 使得后续 继续工作会影响切割机的使用效果， 也会造成切割机的整洁度较低， 基于上述 问题， 为此， 提出了一种制作蒸发靶材的自动精密切割机 。 实用新型内容 [0004]鉴于上述问题， 本实用新型提供了一种制作蒸发靶材的自动精密切割机， 以改善 上述问题。 [0005]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技术方案予以实现： 一种制作蒸发靶材的 自动精密切割机， 包括切割机主体， 所述切割机主体的上端外表面固定连接有滑轨， 所述滑 轨的前端内表面活动连接有放置板， 所述放置板的前端内表面设置有第一夹板， 所述第一 夹板的外壁弹性连接有第一压紧弹簧， 所述放置板的上端外表面安装有转板， 所述转板的 下端内表面滑动连接有第二夹板， 所述第二夹板的外壁弹性连接有第二压紧弹簧， 所述切 割机主体的上端内表面设置有移动座， 所述移动座的下端外表面固定连接有清洁毛刷。 [0006]可选的， 所述放置板 的上端内表面安装有靶材主体， 所述转板 的前端内表面螺纹 连接有螺纹把手， 所述放置板的右侧外表面固定连接有电动推杆， 所述切割机主体的左侧 外表面安装有电机， 所述电机的右侧外表面固定连接有螺纹杆， 所述切割机主体的上端外 表面安装有切割刀组件， 所述切割机主体的右侧内表面设置有碎屑收集盒。 [0007]可选的， 所述放置板的前端内表面开设有圆槽， 所述圆槽与第一夹板相适配， 所述 第一夹板的外壁 通过圆槽与放置 板的前端内表面滑动连接 。 [0008]可选的， 所述切割机主体的上端内表面开设有滑槽， 所述滑槽与移动座相适配， 所 述移动座的下端外表面 通过滑槽与切割机主体的上端内表面滑动连接 。 [0009]可选的， 所述转板的上端内表面开设有卡槽， 所述卡槽与放置板相适配， 所述放置 板的外壁 通过卡槽与转板的上端内表面相卡接 。 [0010]可选的， 所述切割机主体的右侧内表面开设有安装槽， 所述安装槽与碎屑收集盒说　明　书 1/3 页 3 CN 217290723 U 3