(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222033495.0 (22)申请日 2022.08.03 (73)专利权人 常州锦钿半导体科技有限公司 地址 213000 江苏省常州市天宁区中吴大 道566号 (72)发明人 黄成　商龙梅　 (74)专利代理 机构 常州中润迅达专利代理事务 所(普通合伙) 32624 专利代理师 李静 (51)Int.Cl. B24B 29/02(2006.01) B24B 41/04(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/12(2006.01) B24B 47/22(2006.01)B24B 55/04(2006.01) B24B 55/06(2006.01) B24B 55/12(2006.01) (54)实用新型名称 半导体晶圆硅片自旋转式 高效抛光设备 (57)摘要 本实用新型涉及计算机配件技术领域， 尤其 涉及一种半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设 备， 包括机架， 机架顶端固定安装有风机， 且机架 内滑动连接有收集箱， 机架内固定安装有支撑 座， 且支撑座内连接安装有旋转电机， 旋转电机 的输出轴连接有转盘， 机架的顶端内壁固定安装 有伸缩电机， 且伸缩电机的输出轴连接有连接 架， 风机和连接架之间连接有弹簧管， 连接架底 部转动有压杆， 且固定安装有防护罩， 连接架内 转动连接有螺杆， 且螺杆外侧通过螺纹连接有移 动块， 移动块底部固定安装有移动架， 移动架一 端固定安装有导向杆， 且移动架的另一侧滑动连 接有抛光板。 本实用新型， 能够在自旋转抛光的 同时进行除尘， 极具实用性。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217702902 U 2022.11.01 CN 217702902 U 1.半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 包括机架 （1） ， 其特征在于， 所述机架 （1） 顶 端固定安装有风机 （2） ， 且机架 （1） 内滑动连接有收集箱 （3） ， 所述机架 （1） 内固定安装有支 撑座 （4） ， 且支撑座 （4） 内连接安装有旋转电机 （5） ， 所述旋转电机 （5） 的输出轴连接有转盘 （6） ， 所述机架 （1） 的顶端内壁固定安装有伸缩电机 （7） ， 且伸缩电机 （7） 的输出轴连接有连 接架 （8） ， 所述风机 （2） 和连接架 （8） 之间连接有弹簧管 （9） ， 所述连接架 （8） 底部转动有压杆 （10） ， 且 固定安装有防护罩 （15） ， 所述连接架 （8） 内转动 连接有螺杆 （12） ， 且螺杆 （12） 外侧 通过螺纹连接有移动块 （13） ， 所述移动块 （13） 底部固定安装有移动架 （14） ， 所述移动架 （14） 一端固定安装有导向杆 （16） ， 且移动架 （14） 的另一侧滑动连接有抛光板 （17） 。 2.根据权利要求1所述的半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 其特征在于， 所述机 架 （1） 内位于收集箱 （3） 的上方以及两侧均开设有流通口， 且收集箱 （3） 的两侧均连接安装 有防尘网。 3.根据权利要求1所述的半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 其特征在于， 所述压 杆 （10） 采用橡胶材 料制成。 4.根据权利要求1所述的半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 其特征在于， 所述防 护罩 （15） 采用透明塑料制成， 且防护罩 （15） 内开设有与导向杆 （16） 适配的通 孔。 5.根据权利要求1所述的半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 其特征在于， 所述连 接架 （8） 内开设有腔体， 所述腔体底部设有若干个排气孔 （11） ， 且腔体顶端与弹簧管 （9） 相 连。 6.根据权利要求1所述的半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 其特征在于， 所述螺 杆 （12） 有三个， 且呈环形阵列式分布， 所述螺杆 （12） 具体为带有电机的电动螺杆， 且螺杆 （12） 底部均铺设有防尘垫 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217702902 U 2半导体晶圆 硅片自旋转式高 效抛光设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及计算机配件技术领域， 尤其涉及 一种半导体晶圆硅片自旋转式高 效抛光设备。 背景技术 [0002]晶圆是指半导体集成电路制作所用的晶片， 由于其形状为圆形， 故称为晶圆； 在晶 圆上可加工制作成各种电路元件结构， 晶圆都是 晶体， 包括多晶和单 晶， 近年来， 硅基材料 也逐渐应用于高速光通信中， 在晶圆圆片上做完后， 需要对其进 行抛光处理。 一般对半导体 晶圆硅片的抛光是通过对半导体晶圆硅片进 行固定， 使抛光盘旋转的方式来对其侧面进 行 打磨， 然而这种方式不但所需要用到的结构众多， 并且在抛光时无法很好地进 行除尘工作， 存在一定的局限性， 因此需要设计一种半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备来解决这些 问题。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种半导体晶圆 硅片自旋转式 高效抛光设备。 [0004]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0005]半导体晶圆硅片自旋转式高效抛光设备， 包括机架， 所述机架顶端固定安装有风 机， 且机架内滑动连接有收集箱， 所述机架内固定安装有支撑座， 且支撑座内连接安装有旋 转电机， 所述旋转电机的输出轴连接有转盘， 所述机架的顶端内壁固定安装有伸缩电机， 且 伸缩电机的输出轴 连接有连接架， 所述风机和连接架之间连接有弹簧管， 所述连接架底部 转动有压杆， 且固定安装有防护罩， 所述连接架内转动连接有螺杆， 且螺杆外侧通过螺纹连 接有移动块， 所述移动块底部固定安装有移动架， 所述移动架 一端固定安装有导向杆， 且移 动架的另一侧滑动连接有抛光板 。 [0006]优选的， 所述机架内位于收集箱的上方以及两侧均开设有流通口， 且收集箱的两 侧均连接安装有防尘网， 能够帮助气体流出， 并且能够让抛光时产生的粉尘进入收集箱中 无法流出。 [0007]优选的， 所述压杆采用橡胶材料制成， 既可以对晶圆硅片起到固定的作用， 又不会 对其产生破坏， 起到保护作用。 [0008]优选的， 所述防护罩采用透明塑料制成， 且防护罩内开设有与导向杆适配的通孔， 既方便对内部情况进 行探查， 又可以防止碎屑飞出， 同时还能够 对移动架起到导向作用， 避 免其发生变形。 [0009]优选的， 所述连接架内开设有腔体， 所述腔体底部设有若干个排气孔， 且腔体顶端 与弹簧管相连， 方便风机的气流 排出， 从而起到除尘的效果。 [0010]优选的， 所述螺杆有三个， 且呈环形阵列式分布， 所述螺杆具体为带有电机的电动 螺杆， 且螺杆底部均铺设有防尘垫， 能够用于改变移动架的位置， 适用于不同直径的晶圆硅说　明　书 1/3 页 3 CN 217702902 U 3