(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221460870.3 (22)申请日 2022.06.13 (73)专利权人 星烁 （苏州） 电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城区渭塘镇 爱格豪路35号海美国际(苏州)智造研 发社区1号楼二层 (72)发明人 张帅　 (74)专利代理 机构 苏州源禾科达知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32638 专利代理师 刘艳春 (51)Int.Cl. B01D 53/32(2006.01) B01D 53/14(2006.01) B01D 53/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种尾气等离 子处理吸收设备 (57)摘要 本实用新型属于尾气处理设备技术领域， 涉 及一种尾气等离子处理吸收设备， 包括依次连接 的等离子高温反应装置、 冷却降温装置和氮氧化 物吸附装置， 所述冷却降温装置包括外壳和在所 述外壳内竖直设置的若干通气列管， 所述通气列 管的内外侧互不连通， 所述通气列管的上口连通 所述等离子高温反应装置的内腔， 所述通气列管 的下口连通一个能从下部打开的灰尘清理腔， 所 述灰尘清理腔的侧壁连通所述氮氧化物吸附装 置的下部进口， 所述外壳上设有进水口和出水 口， 所述进水口和所述出水口之间连接有冷却水 循环装置。 本设备积灰位置处在能够打开的灰尘 清理腔中， 这样可 以很方便地进行设备维护， 而 且热交换时不会产生废水， 不会增加后处理麻 烦。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217119830 U 2022.08.05 CN 217119830 U 1.一种尾气等离子处理吸收设备， 包括依次连接的等离子高温反应装置 （1） 、 冷却降温 装置 （2） 和氮氧化物吸附装置 （3a） ， 其特征在于： 所述冷却降温装置 （2） 包括外壳 （21） 和在 所述外壳 （21） 内竖直设置的若干通气列管 （22） ， 所述通气列管 （22） 的内外侧互不连通， 所 述通气列管 （22） 的上口连通所述等离子高温反应装置 （1） 的内腔， 所述通气列管 （22） 的下 口连通一个能从下部打开的灰尘清理腔 （23） ， 所述灰尘清理腔 （23） 的侧壁连通所述氮氧化 物吸附装置 （3a） 的下部进口， 所述外壳 （21） 上设有进水口 （211） 和出水口 （212） ， 所述进水 口 （211） 和所述出 水口 （212） 之间连接有冷却水循环装置 （4） 。 2.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备， 其特征在于： 所述等离子 高温反应 装置 （1） 的顶部设有 多个进气管口 （1 1） 。 3.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备， 其特征在于： 所述等离子 高温反应 装置 （1） 的侧壁具有隔热层 （12） 。 4.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备， 其特征在于： 所述灰尘清 理腔 （23） 的出口通过一个三 通切换阀 （5） 同时连接 两个氮氧化物吸附装置 （3a、 3b） 。 5.根据权利要求4所述的尾气等离子处理吸收设备， 其特征在于： 两个所述氮氧化物吸 附装置 （3a、 3b） 的上 出口汇于同一个排气口， 所述 排气口上设置有气体 检测装置 （6） 。 6.根据权利要求1或4所述的尾气等离子处理吸收设备， 其特征在于： 所述氮氧化物吸 附装置 （3a） 内设有滤网 （31） ， 所述滤网 （31） 将所述氮氧化物吸附装置 （3a） 的内腔分隔为下 部的缓冲腔 （32） 和上部的填料腔， 所述 填料腔内设置有吸附填料 （3 3） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217119830 U 2一种尾气等离 子处理吸收 设备 技术领域 [0001]本实用新型涉及尾气处理设备技术领域， 特别涉及一种尾气等离子处理吸收设 备。 背景技术 [0002]半导体、 太阳能、 液晶面板、 LED等行业工厂在生产制造过程中会使用到很多种类 的电子气体， 这些气体中大多都是有毒有害的危险气体。 这些有毒有害的气体在生产工艺 过程中有 些会被利用到， 还有一些残 余的气体需要排放。 因这些气体都是高危险气 体， 有些 具有腐蚀性， 有些具有易燃易爆性等， 故 需要在车间内靠近主设备的地方做及时处理， 以最 大限度地降低生产安全风险。 [0003]现在常见的气体处理设备分为干式吸附式、 水洗式、 电加热水洗式、 等离子水洗式 等， 尤其是最近几年 随着芯片和太阳能电池制 造中工艺的升级， 等离子式尾气处理设备应 用越来越普及。 等离子设备在高温燃烧处理完其它废气后还会产生大量的氮氧化物 （NOx） 废气， 虽然 大大降低了其它危害气 体的排放， 但同时又产生了新的污染源， 因此还需要对氮 氧化物进行吸附。 [0004]CN113477043A披露了一种尾气处理系统， 包括预处理装置、 喷淋装置和氮氧化物 处理装置， 预 处理装置中能够喷射等离子体， 尾气从预 处理装置顶端进入， 向下流动经过喷 淋装置， 然后再向上经过氮氧化物处理装置送出。 但是这里采用的是直接用冷却水喷淋吸 收的方式， 但是随着冷却水吸收灰尘， 会形成大量废水， 且氮氧化物可能溶于水会变成可腐 蚀设备的酸液， 处 理大量的酸 性废水又会带来很高的成本 。 [0005]因此需要改进设备来 解决以上问题。 发明内容 [0006]本实用新型的主要目的在于提供一种尾气等离子处理吸收设备， 能够在处理尾气 和氮氧化物以外， 避免产生高温废水， 且方便废物 清理。 [0007]本实用新型通过如下技术方案实现上述目的： 一种尾气等离子处理吸收设备， 包 括依次连接的等离子高温反应装置、 冷却降温装置和氮氧化物吸 附装置， 所述冷却降温装 置包括外壳和在所述外壳内竖直设置的若干通气列管， 所述通气列管 的内外侧互不连通， 所述通气列管的上口连通所述等离子高温反应装置的内腔， 所述通气列管的下口连通一个 能从下部打开的灰尘清理腔， 所述灰尘清理腔的侧壁连通所述氮氧化物吸附装置的下部进 口， 所述外壳上设有进水 口和出水 口， 所述进水 口和所述出水口之间连接有冷却水循环装 置。 [0008]具体的， 所述 等离子高温反应装置的顶部设有 多个进气管口。 [0009]具体的， 所述 等离子高温反应装置的侧壁具有隔热层。 [0010]具体的， 所述灰尘清理腔的出口通过一个三通切换阀同时连接两个氮氧化物吸附 装置。说　明　书 1/3 页 3 CN 217119830 U 3