(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210892489.2 (22)申请日 2022.07.27 (71)申请人 上海伊恩埃半导体科技股份有限公 司 地址 200120 上海市浦东 新区瑞庆路528号 24幢甲号1层 (72)发明人 贺振华　陈立岗　魏欢　 (74)专利代理 机构 深圳中细软知识产权代理有 限公司 4 4528 专利代理师 黄劼 (51)Int.Cl. G01R 21/14(2006.01) H05K 7/20(2006.01) (54)发明名称 射频功率检测高精度控制方法、 系统及计算 机可读存 储介质 (57)摘要 本发明公开了一种射频功率检测高精度控 制方法、 系统及计算机可读存储介质,该方法包 括： 对射频功率检测器进行散热和温度补偿并设 置射频功率检测器的预设恒定温度区间； 采集射 频功率检测器的实时温度， 判断实时温度是否处 于预设恒定温度区间； 当实时温度处于预设恒定 温度区间时， 射频功率检测器同时测量并上报所 输入射频信号的正向功率和反向功率。 通过散热 以及温度补偿使得射频功率检测器在预设恒定 温度区间稳定工作， 进一步通过 实时温度与检测 精度之间的关系对检测结果进行修正， 最大限度 降低器件发热以及温度变化对检测精度的影响， 可使得射频功率输出精度达 到±0.5％以内。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 115166347 A 2022.10.11 CN 115166347 A 1.一种射频功率检测高精度控制方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 对射频功率检测器进行散热和温度补偿并设置所述射频功率检测器的预设恒定温度 区间； 采集射频功率检测器的实时温度， 判断所述实时温度是否处于所述预设恒定温度区 间； 当所述实时温度处于所述预设恒定温度区间时， 所述射频功率检测器同时测量并上报 所输入射频信号的正向功率和反向功率。 2.根据权利要求1所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述当所述实时 温度处于所述预设恒定温度区间时， 所述射频功 率检测器同时测量并上报所输入射频信号 的正向功率和反向功率的步骤 包括： 当所述实时温度处于所述预设恒定温度区间时， 射频功率检测器同时测量所输入射频 信号的正向功率和反向功率； 同时上报所述实时温度、 所输入射频信号的正向功率和反向功率， 并根据所述实时温 度与射频功率检测器之间检测精度关系修 正所述正向功率、 所述反向功率。 3.根据权利要求1所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述对射频功率 检测器进 行散热和温度补偿并设置所述射频功 率检测器的预设恒定温度区间的步骤之后， 所述方法还 包括： 通过标定试验或者机器学习方式获取在预设恒定温度区间内所述射频功率检测器的 检测精度与实时温度之间的关系。 具体的， 可以利用曲线等多种方式描述检测精度与实时 温度之间的关系， 以便 于对正向功率、 反向功率进行精确修 正。 4.根据权利要求1所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述对射频功率 检测器进行散热和温度补偿并设置所述 射频功率检测器的预设恒定温度区间的步骤 包括： 采用散热装置对所述射频检测器进行散热， 所述散热装置的散热功率为Q1， 采用加热 器件对所述射频功率检测器进行温度补偿， 所述加热器件的补偿功率为Q2， 在所述预设恒 定温度区间， Q1＝ Q2+Q3， 其中Q3为所述 射频功率检测器的发热功率。 5.根据权利要求4所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述散热装置是 风冷装置或者水冷装置， 所述加热器件是PTC温控电阻， 所述PTC温控电阻同时检测所述实 时温度。 6.根据权利要求4所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述散热装置是 水冷装置、 所述加热器件是PTC温控电阻， 所述方法还 包括： 获取所述散热功率、 所述补偿功率的变化曲线Q1(t)、 Q2(t)， 在所述预设恒定温度区 间， Q1(t)＝ Q2(t)+Q3(t)， 其中Q3(t)为所述 射频功率检测器的发热功率变化曲线。 7.根据权利要求6所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述散热装置是 水冷装置， 所述方法还 包括： 对所述水冷装置的介质温度、 循环速度以及散热功率进行标定或者机器学习获取所述 散热功率变化曲线Q1(t)。 8.根据权利要求6所述的射频功率检测高精度控制方法， 其特征在于， 所述加热器件是 PTC温控电阻， 所述方法还 包括： 对所述PTC温控电阻的居里温度、 驱动电压以及补偿功率进行标定或者机器学习获取权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115166347 A 2所述补偿功率变化曲线Q2(t)。 9.一种射频功率检测高精度控制系统， 其特 征在于， 所述系统包括： 温度检测补偿装置， 用于采集射频功率检测器的实时温度并对所述射频功率检测器进 行温度补偿； 散热装置， 用于对所述 射频功率检测器进行散热； 控制器， 用于控制所述温度检测补偿装置、 所述散热装置使得所述射频功率检测器处 于预设恒定温度区间 并接收所述 射频功率检测器上报的正向功率和反向功率。 10.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 所述计算机可读存储介质上存储有射频功 率检测高精度控制程序， 所述射频功率检测高精度控制程序被处理器执行时实现如权利要 求1‑8任意一项所述的射频功率检测高精度控制方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115166347 A 3