(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221917831.1 (22)申请日 2022.07.22 (73)专利权人 成都睿宝电子科技有限公司 地址 610000 四川省成 都市未来科技城 （东 部新区福田街道定水村8组1号附2号） (72)发明人 刘立峰　贺良武　柳灵　杜春林　 (74)专利代理 机构 成都行之智 信知识产权代理 有限公司 5125 6 专利代理师 宋海霞 (51)Int.Cl. G01D 21/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种真空环境 监测装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种真空环 境监测装置， 包括真空仪、 真空传感器以及温度传感器； 传感 模块， 传感模块包括真空度传输模块与温度传输 模块； 真空传感器内设有真空度传输模块， 温度 传感器内设有温度传输模块； 真空仪还设有输入 模块， 输入模块用于设定待测真空室体积； 以及 输出模块， 输出模块用于显示待测真 空室的真空 度、 温度、 气体密度。 本实用新型目的在于提供一 种真空环境监测装置， 通过真空仪、 真空传感器 与温度传感器的配合来实现对待测真空室的真 空抽取与数据收集。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217605038 U 2022.10.18 CN 217605038 U 1.一种真空环境 监测装置， 其特 征在于， 包括： 真空仪、 真空传感器以及温度传感器； 传感模块， 所述传感模块包括真空度传输模块与温度传输模块； 所述真空传感器内设 有所述真空度传输模块， 所述温度传感器内设有所述温度传输模块； 所述真空仪还设有输入模块， 所述输入模块用于设定待测真空室体积； 以及输出模块， 所述输出模块用于 显示待测真空室的真空度、 温度、 气体密度。 2.根据权利要求1所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 还包括时间同步模块， 所述时间同步模块包括第一时间单元， 所述第一时间单元设置在所述真空仪中， 其两端分 别连接一个第二时间单元， 所述第一时间单元用于为连接的所述第二时间单元提供调整时 间同步的时间标准。 3.根据权利要求2所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述 时间同步模块包括 多个所述第二时间单元， 所述第二时间单元分别设置在所述真空传感器与温度传感器中， 其两端分别连接一个所述第二时间单元或者一端连接一个所述第一时间单元另一端连接 一个所述第二时间单 元， 用于将本地时间调整为与所述第一时间单 元同步的时间。 4.根据权利要求3所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述第 一时间单元用于 在经过预定的等待时间后将与其连接的所述第二时间单元调整为与所述第一时间单元同 步的时间。 5.根据权利要求4所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述第 一时间单元用于 在经过一个或多个预定的等待时间后将与其连接的所述第二时间单元调整为与所述第一 时间单元同步的时间。 6.根据权利要求5所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 当所述第 一时间单元失 去与任一所述第二时间单元的连接时， 或者当任一所述第二时间单元所在的设备出现报错 时， 则所述第一时间单 元在经过预定的等待时间后断开与该第二时间单 元的连接 。 7.根据权利要求1所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述真空传感器还包括 用于伸入待测真空室的抽气管， 所述抽气管的另一端连接有真空泵。 8.根据权利要求1所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述温度传感器采用 PT100温度传感器。 9.根据权利要求1所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述真空仪还包括电源 开关与电源指示灯。 10.根据权利要求1所述的一种真空环境监测装置， 其特征在于， 所述真空仪还包括与 所述输出模块电连接的显示屏。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217605038 U 2一种真空环境 监测装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及真空环境 技术领域， 具体涉及一种真空环境 监测装置 。 背景技术 [0002]真空系统运行中， 需要监测相关参数或者指标， 一般真空系统要监测真空度、 温 度、 等参数或者指标， 有 些高端的真空系统还要分析系统抽速、 气体密度以及相关参数的记 录功能。 现有市场上的真空系统应用监测往往要多款仪表来完成， 如真空计、 温度计、 记录 仪、 密度计、 检漏仪等， 成本较高， 占据空间大。 实用新型内容 [0003]本实用新型目的在于提供一种真空环境监测装置， 通过真空仪、 真空传感器与温 度传感器的配合 来实现对待测真空室的真空抽取与数据收集。 [0004]本实用新型通过 下述技术方案实现： [0005]一种真空环境 监测装置， 包括： [0006]真空仪、 真空传感器以及温度传感器； [0007]传感模块， 传感模块包括真空度传输模块与温度传输模块； 真空传感器内设有真 空度传输模块， 温度传感器内设有温度传输模块； [0008]真空仪还设有输入 模块， 输入 模块用于设定待测真空室体积； 以及 [0009]输出模块， 输出模块用于 显示待测真空室的真空度、 温度、 气体密度。 [0010]进一步的， 还包括时间同步模块， 时间同步模块包括第一时间单元， 第一时间单元 设置在真空仪中， 其两端分别连接一个第二时间单元， 第一时间单元用于为连接的第二时 间单元提供调整时间同步的时间标准。 [0011]进一步的， 时间同步模块包括多个第二时间单元， 第二时间单元分别设置在真空 传感器与温度传感器中， 其两端分别连接一个第二时间单元或者一端连接一个第一时间单 元另一端连接一个第二时间单 元， 用于将本地时间调整为与第一时间单 元同步的时间。 [0012]进一步的， 第一时间单元用于在经过预定的等待时间后将与其连接的第二时间单 元调整为与第一时间单 元同步的时间。 [0013]进一步的， 第一时间单元用于在经过一个或多个预定的等待时间后将与其连接的 第二时间单 元调整为与第一时间单 元同步的时间。 [0014]进一步的， 当第一时间单元失去与任一第二时间单元的连接时， 或者当任一第二 时间单元所在的设备出现报错时， 则第一时间单元在经过预定的等待时间后断开与该第二 时间单元的连接 。 [0015]进一步的， 真空传感器还包括用于伸入待测 真空室的抽气管， 抽气管的另一端连 接有真空泵。 [0016]进一步的， 温度传感器采用PT10 0温度传感器。 [0017]进一步的， 真空仪还 包括电源开关与电源指示灯。说　明　书 1/4 页 3 CN 217605038 U 3