(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222689775.7 (22)申请日 2022.10.12 (73)专利权人 江苏芯诺半导体科技有限公司 地址 224700 江苏省盐城市 建湖县经济开 发区天津路3号 (72)发明人 李炜　郭小勇　 (74)专利代理 机构 安徽智联芯知识产权代理事 务所(普通 合伙) 34237 专利代理师 金璐 (51)Int.Cl. B24B 5/04(2006.01) B24B 5/50(2006.01) B24B 5/35(2006.01) B24B 41/06(2012.01) (54)实用新型名称 一种滚磨机 (57)摘要 本实用新型涉及 滚磨机领域， 具体为一种滚 磨机， 包括连接支架、 安装支架、 支撑支架、 弹性 按压件、 打磨 件、 侧面弧形件、 滚轮支架、 抵靠轮、 底部连接件、 连接件和侧滚轮； 连接件远离连接 支架的一端与底部连接件 连接； 连接支架顶部与 支撑支架连接； 支撑支架远离连接支架的一端与 弹性按压件连接； 弹性按压件底部与打磨件连 接； 连接件侧面与侧面弧形件转动阻尼连接； 本 实用新型通过本装置能够实现对于不同大小的 晶圆的自动化打磨的效果， 从而保证了本装置的 稳定性， 通过侧面的弧形件结构能够使得本装置 对于晶圆的限位效果更好， 从而在打磨过程当中 能够提高打磨精度， 减少了由于转动过程产生的 震动对打磨表 面的影响， 提高了晶圆表面的平整 度。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218081799 U 2022.12.20 CN 218081799 U 1.一种滚磨机， 其特征在于， 包括连接支架(1)、 安装支架(2)、 支撑支架(3)、 弹性按压 件(4)、 打磨件(5)、 侧面弧形件(6)、 滚轮支架(7)、 抵靠轮(8)、 底部连接件(9)、 连接件(10) 和侧滚轮(1 1)； 连接支架(1)侧面与安装支架(2)连接； 连接支架(1)底部与连接件(10)连接； 连接件 (10)远离连接支架(1)的一端与底部连接件(9)连接； 连接支架(1)顶部与支撑支架(3)连 接； 支撑支架(3)远离连接支架(1)的一端与弹性按压件(4)连接； 弹性按压件(4)底部与打 磨件(5)连接； 连接件(10)侧面与侧面弧形件(6)转动阻尼连接； 侧面弧形件(6)远离连接件 (10)的一端与滚轮支架(7)连接； 滚轮支架(7)与侧滚轮(11)转动连接； 连接支架(1)侧面与 抵靠轮(8)转动连接 。 2.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特征在于， 底部连接件(9)底部上设有多组固 定螺纹孔， 多组固定 螺纹孔分布在底部连接件(9)底部四周。 3.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特征在于， 弹性按压件(4)底部上设有夹持件， 夹持件内壁上设有防滑层， 夹持件与打磨件(5)顶部 宽度相同。 4.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特征在于， 连接件(10)内部设有转动电机， 转 动电机输出端与抵 靠轮(8)传动连接， 抵 靠轮(8)侧面上设有防滑纹路。 5.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特征在于， 侧面弧形件(6)对称设置于连接件 (10)两侧， 连接件(10)侧面上设有转动限位件， 转动限位件与侧面弧形件(6)侧面接触。 6.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特征在于， 底部连接件(9)顶部上设有从动滚 珠， 从动滚珠朝向垂直 正上方。 7.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特征在于， 安装支架(2)上设有定位孔， 安装支 架(2)对称分布在连接件(10)两侧。 8.根据权利要求1所述的一种滚磨机， 其特 征在于， 侧滚轮(1 1)侧面上设有缓冲件。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218081799 U 2一种滚磨机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及滚磨机技 术领域， 特别是 涉及一种滚磨机 。 背景技术 [0002]晶圆片的由来， 是先将二氧化矽经过纯化、 融解、 蒸馏之后制成硅晶棒(也称矽晶 棒)， 晶圆厂 再对这些硅晶棒滚磨、 抛光和切片制成晶圆母片； 在进 行硅晶棒滚磨时， 通常由 人工将圆度缺陷的硅晶棒安装至两个能够 对硅晶棒进 行夹持的旋转轴上， 即硅晶棒滚磨工 序的上料环节， 在上料环节时， 工人需要将硅晶棒以与旋转轴同轴且端面相互平行 的方式 放置到两个旋转轴之 间， 再操作两个旋转轴对硅晶棒进 行夹持， 待硅晶棒滚磨后， 再将 硅晶 棒取下； 由人工进行上料和下料且尤其是进行上料时， 硅晶棒与旋转轴的位置校对难度较 高， 费时费力， 且人工操作误差较大， 存在硅晶棒与旋转轴不同轴而导致硅晶棒滚磨精度降 低甚至导致硅晶棒报废的可能， 且存在硅晶棒与旋转轴的端面不平行而导致硅晶棒被两端 旋转轴夹持时， 不仅造成硅晶棒与旋转轴不同轴， 且 会导致硅晶棒的端面被磕坏。 [0003]授权公告号为CN114310511A的中国专利公开了一种用于晶圆片加工的滚磨机， 包 括硅晶棒旋转机构、 滑轨、 滑动底座和具有滚磨片的滚磨片安装机构， 所述滑动底座通过所 述滑轨滑动设置于所述硅晶棒旋转机构的后侧， 所述滚磨片安装机构安装在所述滑动底座 上， 其特征在于， 所述滑动底 座上安装有自动上下料机构， 所述自动上下料机构包括平移组 件、 用于放置和定位待滚磨的硅晶棒的硅晶定位组件， 以及用于驱动所述硅晶定位组件进 行升降的升降组件， 所述平移组件用于驱动所述升降组件带动所述硅晶定位组件向所述硅 晶棒旋转机构所在的前侧进行靠近和远离； 所述硅晶定位组件通过所述平移组件、 所述滑 动底座和所述升降组件来进行移动调节， 以使所述硅晶定位组件将接收的硅晶棒被送至所 述硅晶棒旋转机构的夹取位置， 以及接 收所述硅晶棒旋转机构释放的被滚磨后的硅晶棒， 其具有精简了自动上 下料机构的结构， 以达 到节约硬件成本的目的等优点。 [0004]但是上述已公开方案存在如下不足之处： 上述方案在实际使用过程当中存在结构 复杂， 加工过程繁琐的同时， 降低了对于不同直径晶圆的兼容 性。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是针对背景技术中存在的技术问题， 本实用新型提出一种滚磨 机， 本实用新型通过本装置能够实现对于不同大小的晶圆的自动化打磨的效果， 从而保证 了本装置的稳定性， 通过侧 面的弧形件结构能够使得本装置对于晶圆的限位效果更好， 从 而在打磨过程当中能够提高打磨精度， 减少了由于转动过程产生的震动对打磨表面的影 响， 提高了晶圆表面的平整度。 [0006]本实用新型提出了一种滚磨机， 包括连接支架、 安装支架、 支撑支架、 弹性按压件、 打磨件、 侧面弧形件、 滚轮支 架、 抵靠轮、 底部连接件、 连接件和 侧滚轮； [0007]连接支架侧面与安装支架连接； 连接支架底部与连接件连接； 连接件远离连接支 架的一端与底部连接件连接； 连接支架顶部与支撑支架连接； 支撑支架远离连接支架的一说　明　书 1/3 页 3 CN 218081799 U 3