ICS 03.100.30 CCS T GVS A 18 团体 标准 T/GVS 004—2022 光学真空镀膜职业技能等级规范 Specification for occupation skill level evaluation of optical vacuum coating 2022- 03 - 28发布 2022 - 03 - 28实施 广东省真空学会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 00 4—2022 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 适用院校专业 ................................ ................................ ....... 2 中等职业学校 ................................ ................................ ... 2 高等职业学校 ................................ ................................ ... 2 应用型本科学校 ................................ ................................ . 2 5 面向职业岗位（群） ................................ ................................ . 2 6 职业技能要求 ................................ ................................ ....... 3 等级划分 ................................ ................................ ....... 3 等级要求描述 ................................ ................................ ... 3 参考文献 ................................ ................................ .............. 9 全国团体标准信息平台 T/GVS 004 —2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 中山火炬职业技术学院 提出。 本文件由广东省真空学会归口。 本文件起草单位： 中山火炬职业技术学院、长春理工大学中山研究院、中山联合光电科技股份有限 公司、中山凯旋真空科技股份有限公司、中山晶通光学技术有限公司、深圳市纳宏光电技术有限公司、 大鼎光学薄膜 （中山）有限公司、 中山市光电产业协会、暨南大学、 岭南师范学院。 本文件主要起草人： 石澎、王丽荣、王龙、付秀华、卢志坚、王雷、彭承泓、高峰、闪雷雷、黄宏 亮、黄杰、 黄纯根、吴嘉凤、唐振方 、陈科球、 邹长伟。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/GVS 004 —2022 1 光学真空镀膜职业技能等级规范 1 范围 本文件规定了光学真空镀膜职业技能等级规范的术语和 定义、适用院校专业、面向职业 岗位（群） 、 职业技能要求 。 本文件适用于光学真空镀膜从业人员的技能培训、考核与评价。相关用人单位对光学真空镀膜从业 人员的聘用、培训与考核可参考执行。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 3163—2007 真空技术 术语 GB/T 26332.1 —2018 光学和光子学 光学薄膜 第1部分：定义 3 术语和定义 GB/T 3163 、GB/T 26332.1 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 真空镀膜 vacuum coating 在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。 [来源：GB/T 3163 —2007，7.1.1] 工作气体 working gas 镀膜过程中，用于离子源获取离子辅助镀膜或参与反应的气体。 镀膜材料 coating material 用来制取膜层的原材料。 注： 以下简称“膜料”。 [来源：GB/T 3163 —2007，7.1.4] 挡板（真空镀膜技术） shutter 用来在时间上和（或）空间上限制镀膜并借此达到一定膜厚分布的装置。 挡板可以是固定的也可以 是活动的。 注： 挡板分为膜料挡板和膜厚均匀性修正挡板。 [来源：GB/T 3163 —2007，7.3.9] 护板 guard board 用来防止真空室内壁被镀膜的可拆卸保护板。 电阻加热蒸发 resistance heating evaporation 采用高熔点金属做成一定形状的蒸发源（电阻元件），利用大电流通过蒸发源所产生的焦耳热，对 膜料进行加热蒸发，并在基底表面凝结成膜的真空蒸镀工艺。 注： 以下简称“阻蒸”。 全国团体标准信息平台 T/GVS 004 —2022 2 耗材 consumables 消耗频繁的配件类物品， 一般指电子枪灯丝、离子源灯丝、膜料、晶振片、清洗试剂等真空镀膜用 产品。 束流 beam current 电子枪灯丝通电加热后发射的热电子流。 膜系 film system 光学薄膜技术中，由基底、 膜层、出射介质构成的系统结构，其中膜层包括膜层材料、厚度、层数 及排列次序。 镀膜程序 film coating procedure 按照加工流程控制镀膜过程的程序， 该程序存储在真空镀膜设备的控制系统中。 工艺 technique 将原材料或半成品加工成产品的方法、技术 ，一般指将膜料镀制到元件或基片上的技术过程。 基片支架 substrate holder 可直接夹持基片的装置，例如夹持装置 ，框架和类似的夹持器具。 [来源：GB/T 3163-2007，7.3.12] 夹紧装置 clamp 在镀膜设备中用或不用基片支架支承一个基片或几个基片的装置，例如夹盘、夹鼓、球形夹罩、 夹 篮等。夹紧装置可以是固定的或活动的（旋转架，行星齿轮 系等）。 [来源：GB/T 3163-2007，7.3.13] 4 适用院校专业 中等职业学校 适用专业包括 ：机械制造技术、机械加工技术、数控技术应用、模具制造技术、工业产品质量检测 技术、智能设备运行与维护、光电仪器制造与维修、电机电器制造与维修、机电技术应用、电气设备运 行与控制、工业机器人技术应用、工业自动化仪表及应用等。 高等职业学校 适用专业包括：智能光电制造技术、机械设计与制造、数字化设计与制造技术、数控技术、机械制 造及自动化、模具设计与制造、特种加工技术、智能制造装备技术、机电设备技术、电机与电器技术、 机电一体化技术、机械装备制造技术、智能机电技术、智能控制技术、智能机器人技术、工业机器人技 术、电气自动化技术、工业过程自动化技术、工业自动化仪表技术等。 应用型本科学校 适用专业包括 ：智能制造工程技术、数控技术、装备智能化技术、机械电子工程技术、电气工程及 自动化、智能控制技术、机器人技术、自动化技术与应用、现代测控工程技术等。 5 面向职业岗位（群） 主要面向光学真空镀膜行业设备操作、维护保养、工艺开发等岗位，主要完成光学真空镀膜设备检 查与维护、 光学薄膜膜系设计与镀制、 光学薄膜测试与分析、 技术改造与开发、 培训与管理等相关工作。 全国团体标准信息平台 T/GVS 004 —2022 3 6 职业技能要求 等级划分 6.1.1 总则 按照 《职业技能等级标准开发指南 （试行） 》 ， 光学真空镀膜职业技能等级由低到高分为三个等级： 初级、中级、高级。三个级别依次递进，高级别涵盖低级别职业技能要求。 6.1.2 初级 6.1.2.1 技能要求 具备光学真空镀