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ICS 31.030 L90 SJ 备案号: 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 1543201X 代替SJ/T 1543-1988 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法 报批稿 (本稿完成日期:2016.8.30) XXXX - XX - XX 实施 XXXX - XX - XX 发布 发布 中华人民共和国工业和信息化部 XXXXXXXXX 1/rS 前言 本标准按照GB/T1.1-2009制定的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准代替SJ/T1543-1988《电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法》,本标准与SJ/T1543-1988 相比,主要有如下变动: 按GB/T1.1-2009规定的格式进行了修改。 增加了去离子水的纯度等级。(见5.4,SJ/T1543-1988的3.d) 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人:张旭、张理、裴会川。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: SJ/T1543-1988 I

.pdf文档 SJ-T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

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