ICS 77. 150. 99 YS H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1357—2020 磁记录用铬钛合金溅射靶材 CrTaTi alloy sputtering target used in magnetic recording 2021-04-01实施 2020-12-09发布 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1357—2020 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波科铂新材料有限 公司。 本标准主要起草人：赵泽良、马国成、袁海军、吴东青、姚力军、王学泽、曹欢欢、廖培君、李小萍、苏美凤、 陈勇军、滕海涛、高岩、丁照崇、李利利。 YS/T1357—2020 磁记录用铬钼钛合金溅射靶材 1范围 本标准规定了磁记录用铬钼钛合金溅射靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、 包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于6英寸～8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钼钛合金靶材。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是 必不可少的。凡是 注日 期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件 真最新版本（包括所有） 单）适用于 本文件。 的修改 GB/T1031 产品几何 面结楼 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T 3850 致密烧纟 属材料 与硬质合 密度 测定方法 GB/T 8651 金属板 超声板波探 市方流 GB/T13298 金属显 数组织检验 GB/T 14265 金属 科中氢、氧 碳和硫分析方法通则 凤 YS/T899 高纯钼化学 分析方法 真量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文 3. 1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式 脱离阴极而在衬底表面沉积。 4技术要求 4.1产品形状 产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸。 4.2化学成分 4.2.1产品的主成分含量要求应不小于99.95%。 4.2.2产品的化学成分应符合表1的规定。 表1化学成分 牌号 CrTaTi Cr含量（质量分数)/% 37.25±0.65 1